Recent, întreprinderile interne de știință și tehnologie a materialelor au dezvoltat cu succes un nou tip de material ceramic din carbură de siliciu, cu puritate de până la 99 . 999%, iar această descoperire va îmbunătăți semnificativ performanța și fiabilitatea echipamentelor de fabricație semiconductoare ., iar cerințele de procesare a procesului de semiconductor care vor micșora, puritatea pieselor cheie și a cerințelor materiale sunt crescute de protecție a nodurilor de semiconductor; Această descoperire tehnologică pentru modernizarea echipamentelor interne cu semiconductor oferă un suport important material.
Repere de descoperire tehnică:
1. Control de puritate ultra-înaltă: Conținutul de impuritate metalică este controlat la 0 . 1ppm prin procesul inovator de depunere a fazelor de vapori și tehnologia de purificare, îndeplinirea cerințelor procesului 7Nm și sub proces.
2. Performanță termică excelentă: performanță stabilă la 1000 de grade cu conductivitate termică de 270W/mk .
3. rezistență excelentă la coroziune: rezistent la acizi puternici, baze puternice și medii corozive plasmatice .
Avantajele aplicației echipamentelor cu semiconductor:
1. Echipament de gravare: utilizat ca material de căptușeală cavitate pentru a reduce contaminarea metalelor și pentru a îmbunătăți uniformitatea gravurii
2. Creștere epitaxială: utilizat ca tăvi și baze pentru a asigura calitatea stratului epitaxial .
3. implantare ionică: înlocuiește componentele tradiționale de cuarț și extinde intervale de întreținere a echipamentelor .
Un expert din Ceramicstimes a spus: „Fabricarea semiconductorilor se îndreaptă către noduri cu proces mai fin, iar ceramica de carbură de siliciu de înaltă puritate va deveni un material cheie pentru echipamentele de generație următoare . Această descoperire va reduce efectiv dependența Chinei de materialele importate pentru echipamente semiconductoare .}”
Currently, the material has passed the verification tests of major domestic semiconductor equipment manufacturers and is expected to achieve mass production in the fourth quarter of 2024. With the rapid development of emerging technologies such as 5G and artificial intelligence, the market demand for high-purity silicon carbide ceramics will continue to grow, and it is expected that by 2026 the global market size will exceed 5 billion yuan .
Dinamica afacerilor:
ceramicstimes invested 500 million yuan to build a special production line, the completion of the project annual production capacity of up to 200,000 pieces, will effectively meet the needs of domestic semiconductor equipment manufacturers. At the same time, the enterprise is working with a number of research institutes to further optimise the material properties, to develop more semiconductor equipment special parts Soluții .
Această descoperire tehnologică nu numai că completează semifabricatul ceramicii din carbură de siliciu de înaltă puritate, un control mai independent al echipamentelor semiconductoare din China oferă o garanție materială importantă, va promova puternic procesul de localizare a lanțului industriei semiconductoare .}
