Descrierea produselor

Inelele de depunere ceramică de alumină servesc ca componente consumabile critice în camerele de reacție ale dispozitivelor de bază ale echipamentelor de depunere în vapori chimici (CVD) și depunere în vapori fizice (PVD)-în fabricarea cipurilor semiconductoare. Cerințele lor de selecție a materialelor și de aplicare sunt excepțional de stricte. Instalate de obicei în jurul suporturilor de plachete (mandrine electrostatice), acestea fac parte din spațiul de reacție a procesului. În mediul solicitant de fabricație a semiconductorilor, rolul principal al inelului de depunere este de a proteja componentele miezului scumpe (cum ar fi mandrinele electrostatice) de contaminarea și depunerea subproduselor de proces, de a asigura uniformitatea procesului și de a menține curățenia și stabilitatea camerei.

Ceramic Deposition Rings

Performanța produsului

Rezistență excepțională la coroziune: Capabil să reziste la eroziunea de la diferite gaze plasmatice corozive, foarte reactive (de exemplu, gaze pe bază de fluor-, clor-) utilizate în procesele CVD/PVD, asigurând o durată de viață extinsă.
Rezistență superioară la-temperatură ridicată: menține stabilitatea structurală și performanța la temperaturi de proces care ating sute sau chiar mii de grade Celsius fără deformare sau topire, demonstrându-și caracteristicile ca ceramică de alumină-înaltă.
Puritate ridicată și contaminare scăzută: ceramica cu alumină de puritate ridicată-(de exemplu, 99,9% sau mai mare) minimizează eliberarea de contaminanți, cum ar fi ionii metalici, din materialul însuși în camera de proces în condiții de temperatură și plasmă înalte-, prevenind contaminarea plachetelor. Aplicațiile de calitate-semiconductorilor urmăresc puritatea supremă a ceramicii de alumină de 99,99%.
Rezistență mecanică și duritate excelente: posedă o rigiditate suficientă pentru a menține stabilitatea dimensională în timp ce rezistă solicitărilor mecanice și forțelor de instalare. Proprietățile mecanice robuste formează baza pentru toate formele-fie plăci ceramice de alumină, tije ceramice de alumină (bare de alumină) sau tuburi de alumină.
Izolație superioară: Ca material izolator, ceramica de alumină nu interferează cu funcția de aderență a mandrinei electrostatice pentru napolitane, asigurând siguranța și stabilitatea procesului.
Conductivitate termică moderată: Ajută la omogenizarea câmpului de temperatură din cameră prevenind în același timp supraîncălzirea. Aceasta este o proprietate apreciată pentru componentele de disipare a căldurii, cum ar fi substraturile ceramice de alumină sau plăcile de răcire ceramice.
Precizie ridicată și prelucrabilitate: Prin tehnici avansate de formare a ceramicii și prelucrare de precizie, pot fi obținute forme complexe cu precizie dimensională și finisare a suprafeței excepționale.

ceramicstimes performance parameter

Aplicarea produsului

Materii prime: necesită pulbere fină de alumină, în special pentru ceramica de alumină de{0}}puritate ridicată. Oxidul de aluminiu (Al2O3) este substanța chimică de bază.
Formare și sinterizare: implică producătorii de ceramică de alumină care utilizează tehnici pentru a produce semifabricate ceramice de alumină, cum ar fi blocuri de alumină, plăci de alumină (foi de alumină), tuburi de alumină (tub de al2o3) și discuri de alumină.
Prelucrare de precizie: Efectuată de specialiști în prelucrarea ceramicii cu alumină sau furnizori de piese, transformând semifabricate în componente finale, cum ar fi plăci ceramice de alumină, tije ceramice de alumină sau piese structurale ceramice complexe de alumină.
Alte forme și aplicații: Dincolo de inelele de depunere, ceramica de alumină are diverse utilizări semiconductoare, cum ar fi substraturi ceramice de alumină (substrat al2o3) pentru ambalare, membrane ceramice de alumină și tuburi din fibră de alumină pentru izolare.

Certificate și onoruri

Experții noștri au 20 de ani de experiență în cercetare și dezvoltare în dezvoltarea și fabricarea independentă a materialelor ceramice avansate și a ceramicii de precizie, atingând standarde de clasă mondială-. Am fost recunoscuți ca o întreprindere națională de înaltă-tehnologie și suntem un proiect de talente lider în orașul Shaoxing, cunoscut sub numele de „Orașul natal al savanților”.

Urmăm cu strictețe sistemul de management al calității ISO 9001 pentru a asigura coerența:

Inspecție 100% materii prime
Linii de producție avansate de-presare la cald
Testări interne-: densitate, duritate, analiză microstructurii
Certificari de la terți-(SGS, CE, ROHS disponibile la cerere)

certificates

honors

puterea fabricii

Avem expertiză tehnică avansată în procese de sinterizare, formare, șlefuire, prelucrare CNC, găurire cu laser, șlefuire și lustruire, permițându-ne să personalizăm diverse produse ceramice conform specificațiilor clienților. Atelierele noastre digitale și fabricile inteligente, echipate cu sisteme de colectare a datelor-în timp real, folosesc principiile de producție slabă pentru a minimiza risipa și a maximiza eficiența resurselor. Prin integrarea tehnologiei de prelucrare CNC, a IoT industrial și a sistemelor de control automatizate, realizăm o conectivitate perfectă și o funcționare colaborativă între echipamentele de producție, maximizând astfel economiile de producție.

Factory