Siliciu din carbură de vid din carbură de siliciu

Principala funcție a tabelului piesei de lucru într -o mașină de litografie ceramică din carbură de siliciu este de a transporta napolitane și măști și de a finaliza procesul de expunere, iar performanța sa afectează în mod direct randamentul și rezoluția. Cerințe pentru ca tabelul să obțină o viteză ridicată - și o cursă netedă mare și șase grade de libertate de Nanoscale Ultra - mișcare de precizie, precizia de poziționare a tabelului piesei de lucru este necesară pentru a ajunge la 10 nm, masca - Wafer, cu respect, de 150 nm/ de litografie de 33 nm și litografie cu lățime de 10 nm, viteză de scanare a măștii de 500 nm/s și necesită o mișcare de masă de lucru foarte mare și necesită o mișcare foarte mare. Pentru litografia cu rezoluție de 100 nm cu o precizie de înregistrare de 33 nm și o lățime de linie de 10 nm, viteza de scanare a măștii este aproape de 500 nm/s, iar etapa piesei de lucru trebuie să aibă o precizie și o netezime foarte mare.

Carbura de siliciu este un material ceramic structural excelent, cu rezistență ridicată, duritate ridicată, modul ridicat de elasticitate, rigiditate specifică ridicată, conductivitate termică ridicată, coeficient scăzut de expansiune termică și stabilitate chimică excelentă. Carbura de siliciu are un modul foarte ridicat de elasticitate, conductivitate termică și coeficient moderat de expansiune termică, are polonezibilitate excelentă, pot fi prelucrate în suprafața oglinzilor de calitate - și nu este ușor de produs deformare și tulpină termică.

Ceramicstimes, ceramica de carbură de siliciu a companiei este compusă din ceramică, profesori și medici ai echipei superbe de cercetare și dezvoltare, cu tehnologie avansată de pregătire și prelucrare a ceramicii, stăpânirea de formularea și tratarea pulberii, formarea, procesarea biletelor, sinterizarea, prelucrarea precisă și măcinarea preciziei și alte materiale ceramice avansate producția lumii. Experți, respectiv, cercetare: nitrură, oxid, carbură și alte materiale ceramice avansate și ceramică compozită; Aplicat pentru mai mult de 30 de brevete chinezești. Produsele pot fi personalizate în funcție de desene și sunt vândute pe scară largă în peste 50 de țări și regiuni din întreaga lume.

1. Forța mare

2. Duritatea înaltă

3. Modul elastic ridicat

4. rigiditate specifică ridicată

5. Conductivitatea termică înaltă

6. Coeficient de expansiune termică

Tag-uri populare: carbură de siliciu din carbură de vid ceramică, carbură de siliciu din carbură de vid ceramică producători, furnizori, fabrică