Inelele de depunere ceramică de alumină servesc ca componente consumabile critice în camerele de reacție ale dispozitivelor de bază ale echipamentelor de depunere în vapori chimici (CVD) și depunere în vapori fizice (PVD)-în fabricarea cipurilor semiconductoare. Cerințele lor de selecție a materialelor și de aplicare sunt excepțional de stricte. Instalate de obicei în jurul suporturilor de plachete (mandrine electrostatice), acestea fac parte din spațiul de reacție a procesului. În mediul solicitant de fabricație a semiconductorilor, rolul principal al inelului de depunere este de a proteja componentele miezului scumpe (cum ar fi mandrinele electrostatice) de contaminarea și depunerea subproduselor de proces, de a asigura uniformitatea procesului și de a menține curățenia și stabilitatea camerei. Performanța sa afectează direct timpul de funcționare al echipamentului, costurile de întreținere și randamentul final al cipului. Astfel de componente se încadrează în categoria prelucrării de precizie a ceramicii cu alumină, solicitând cerințe stricte pentru puritatea ridicată și performanța superioară a materialului ceramic cu alumină.
Parametrul de performanță al ceramicii
Proprietăți cheie
- Rezistență excepțională la coroziune: Capabil să reziste la eroziunea de la diferite gaze plasmatice corozive, foarte reactive, utilizate în procesele CVD/PVD, asigurând o durată de viață extinsă.
- Rezistență superioară la-temperatură ridicată: menține stabilitatea structurală și performanța la temperaturi de proces care ating sute sau chiar mii de grade Celsius fără deformare sau topire, demonstrându-și caracteristicile ca ceramică de-alumină la temperatură ridicată.
- Puritate ridicată și contaminare scăzută: ceramica cu alumină de puritate ridicată-(de exemplu, 99,9% sau mai mare) minimizează eliberarea de contaminanți, cum ar fi ionii metalici din material în sine în camera de proces, în condiții de temperatură și plasmă înalte, prevenind contaminarea plachetelor.
- Rezistență mecanică și duritate excelente: posedă o rigiditate suficientă pentru a menține stabilitatea dimensională în timp ce rezistă solicitărilor mecanice și forțelor de instalare. Proprietățile mecanice robuste formează baza pentru toate formele-fie plăci ceramice de alumină, tije ceramice de alumină (bare de alumină) sau tuburi de alumină.
- Izolație superioară: Ca material izolator, ceramica de alumină nu interferează cu funcția de aderență a mandrinei electrostatice pentru napolitane, asigurând siguranța și stabilitatea procesului.
- Conductivitate termică moderată: Ajută la omogenizarea câmpului de temperatură din cameră prevenind în același timp supraîncălzirea.
- Precizie ridicată și prelucrabilitate: Prin tehnici avansate de formare a ceramicii și prelucrare de precizie, pot fi obținute forme complexe cu precizie dimensională și finisare a suprafeței excepționale.
Aplicarea produsului
- Materii prime: necesită pulbere fină de alumină, în special pentru ceramica de alumină de{0}}puritate ridicată. Oxidul de aluminiu (Al2O3) este substanța chimică de bază.
- Formare și sinterizare: implică producătorii de ceramică de alumină care folosesc tehnici pentru a produce semifabricate ceramice de alumină.
- Prelucrare de precizie: Efectuată de specialiști în prelucrarea ceramicii cu alumină sau furnizori de piese, transformând semifabricate în componente finale, cum ar fi plăci ceramice de alumină, tije ceramice de alumină sau piese structurale ceramice complexe de alumină.
- Alte forme și aplicații: Dincolo de inelele de depunere, ceramica de alumină are diverse utilizări semiconductoare, cum ar fi substraturi ceramice de alumină (substrat al2o3) pentru ambalare, membrane ceramice de alumină și tuburi din fibră de alumină pentru izolare.
Controlul calității
Urmăm cu strictețe sistemul de management al calității ISO 9001 pentru a asigura coerența:
- Inspecție 100% materii prime
- Linii de producție avansate de-presare la cald
- Testări interne-: densitate, duritate, analiză microstructurii
- Certificari de la terți-(SGS, CE, ROHS disponibile la cerere)
Tag-uri populare: inel de focalizare cu carbură de siliciu, producători de inel de focalizare cu carbură de siliciu, furnizori, fabrică, rotor auxiliar ceramic de alumină
