Descrierea produselor

Un inel ceramic semiconductor este o componentă ceramică de specialitate{0}}de înaltă performanță utilizată în etapele critice ale proceselor de fabricație a semiconductorilor. Este fabricat de obicei din materiale ceramice de înaltă-puritate, de înaltă-densitate și precizie și are o structură circulară. Acesta servește ca o parte consumabilă cheie în camerele de reacție ale echipamentelor semiconductoare utilizate pentru procese precum difuzia, oxidarea, depunerea chimică în vapori (CVD) și gravarea.

Funcțiile sale principale includ susținerea plachetelor de siliciu (sau formarea unor medii specifice de gaz de proces și câmpuri de curgere uniforme) în timp ce rezistă la condiții extreme de funcționare-incluzând temperaturi ridicate, gaze foarte corozive, bombardament cu plasmă și cicluri termice rapide. Prin urmare, performanța sa influențează direct stabilitatea procesului, uniformitatea, controlul contaminării cu particule și, în cele din urmă, randamentul produsului final de cip.

Semiconductor Ceramic Rings

detalii despre produs

Numele produsului	Inel ceramic semiconductor
Culoare	Personalizat in functie de cerintele clientului
dimensiune	Personalizat in functie de cerintele clientului
Ambalare	Cutie / Palet / Carcasă din lemn (Conform cerințelor clientului)
Timpul de livrare	Produs standard-În 3 zile
Design articole	Conform desenului sau mostrelor clientului
Caracteristici	Calitate bună, preț scăzut, mai multe fabrici, vă livrează în funcție de cea mai apropiată locație
Aplicație	Ceramica industriala
Certificat	ISO, CE

Caracteristici cheie de performanță

Material de înaltă puritate

Selecția de materii prime ceramice de-puritate ridicată reduce în mod eficient interferența impurităților în procesul de fabricație a semiconductorilor. Inelele ceramice semiconductoare sunt de obicei realizate din materiale ceramice de înaltă-puritate, cum ar fi oxid de aluminiu, nitrură de siliciu etc. Au o duritate extrem de mare și pot rezista la stres mecanic în timpul procesării, asigurând eficient rata de randament și stabilitatea performanței cipului.

Rezistență excelentă la temperaturi ridicate

În fluxul de proces complex al producției de semiconductori, mulți pași cheie ai procesului, cum ar fi difuzia și recoacere, trebuie efectuate în medii dure{0}}de temperatură ridicată. Inelul ceramic semiconductor a demonstrat performanțe extraordinare în acest sens și poate rezista la temperaturi ridicate de sute sau chiar mii de grade. Chiar și în astfel de condiții extreme de temperatură ridicată, inelul ceramic semiconductor poate menține ferm rezistența mecanică și integritatea structurală. Mai mult, indiferent de schimbările rapide de temperatură ridicată sau scăzută, inelul ceramic semiconductor nu va prezenta condiții adverse, cum ar fi deformarea, fisurarea sau înmuierea. Acest lucru oferă un suport solid și de încredere pentru avansarea fără probleme a proceselor de-temperatură înaltă în fabricarea semiconductorilor, îmbunătățind considerabil calitatea și randamentul cipurilor.

Stabilitate chimică excelentă

Inelele ceramice semiconductoare au stabilitate chimică excelentă, rezistență excelentă la coroziune la o varietate de substanțe chimice și pot rămâne stabile în medii dure de procesare, asigurând puritatea și fiabilitatea procesului de fabricare a cipurilor.

Control precis al dimensiunii

Procesul de fabricație a inelelor ceramice semiconductoare poate obține o precizie dimensională extrem de ridicată. Parametrii inelului ceramic semiconductor, cum ar fi diametrul interior, diametrul exterior, grosimea și planeitatea suprafeței pot fi controlați cu precizie în limitele de toleranță extrem de mici. În echipamentele de fabricare a cipurilor, această adaptare dimensională precisă este crucială. Inelul ceramic semiconductor poate coopera perfect cu alte componente, cum ar fi plachete, electrozi, camere de reacție etc. pentru a asigura fluxul uniform al gazelor și lichidelor de proces și distribuția uniformă a câmpurilor fizice, cum ar fi câmpurile electrice și câmpurile magnetice, îmbunătățind astfel uniformitatea procesului și repetabilitatea procesului de fabricație, contribuind la realizarea la scară largă a procesului de fabricație, {4} producție de cip-înaltă și-de înaltă calitate.

Performanță bună de izolare electrică

Inelele ceramice semiconductoare au proprietăți excelente de izolare electrică și pot rezista la tensiuni înalte fără defecțiuni. Această caracteristică permite inelelor ceramice semiconductoare să joace un rol izolator și izolant în locații cheie, cum ar fi sistemul de electrozi și piesele de conectare a circuitelor echipamentelor de fabricare a cipurilor, asigurând siguranța și stabilitatea sistemului electric în timpul procesului de fabricație a semiconductorilor și evitând deteriorarea cipului sau accidentele de producție cauzate de probleme electrice.

Aplicație de piață

Inelele ceramice semiconductoare sunt utilizate în principal în trei domenii de bază ale producției de circuite integrate: difuzie/procesare termică, depunere chimică de vapori (CVD) și gravare uscată (Etch).

Procese de Difuziune/Oxidare/LPCVD

În tuburile de cuptoare cu temperatură înaltă-, inelele ceramice (denumite adesea „padele pentru bărci” sau „bărci”) sunt folosite pentru a stivui și susține mai multe plachete de siliciu orizontal sau vertical. Acestea trebuie să asigure condiții uniforme de încălzire și lipsă de contaminare-pentru toate napolitanele la temperaturi de până la 1200 de grade . Inelele ceramice din alumină sunt utilizate pe scară largă în astfel de aplicații.

Procese de depunere chimică în vapori (CVD).

În camerele de reacție CVD, inelele ceramice servesc ca susceptori sau căptușeli ale camerei, susținând plachetele și optimizând câmpurile de flux de gaz de reacție. Conducția lor termică uniformă este esențială pentru obținerea unei depuneri consistente a filmului. Inelele ceramice cu nitrură de aluminiu sunt utilizate pe scară largă în acest domeniu datorită conductibilității lor termice excelente.

Procese de gravare uscată

Aceasta este una dintre cele mai solicitante aplicații pentru inelele ceramice. În camerele de gravare umplute cu plasme cu energie ridicată-și gaze corozive, inelele ceramice funcționează ca inele de focalizare, inele de izolare sau căptușeli ale camerei. Rolurile lor principale sunt de a controla uniformitatea distribuției plasmei, de a proteja pereții metalici ai camerei de coroziune și de a reduce contaminarea cu particule.Inele ceramice de oxid de ytriu (Y₂O₃).au devenit alegerea preferată pentru procesele avansate de gravare datorită rezistenței lor de neegalat la eroziunea plasmei pe bază de fluor{0}.

Alte utilizări auxiliare

Ele pot servi, de asemenea, ca componente izolatoare în sistemele de măsurare sau de transfer, sau ca inele limită în robotica de manipulare a plachetelor.

Performanța produselor

Număr	Performanţă	Unitate	Nitrură de aluminiu
			Nitrură de aluminiu
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Densitate	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Rezistența la încovoiere	MPa	340~360	400~420
3	Duritatea la fractură	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Constanta dielectrica	εr (20 de grade, 1 MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Duritate	GPa	12-16
	Duritate	HRC	75-80
6	Rezistivitatea volumului	Ω·cm(20 grade)	10 10	10 10
7	Modulul elastic	GPa	310	320
8	Coeficientul de dilatare termică	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Rezistența la compresiune	MPa	2100	2000
10	abraziuni	g/cm2	0.01	0.01
11	Conductivitate termică	W/m×k (20 grade)	200~220	160~180
12	Raportul lui Poisson	/	0.24	0.24
13	Rezistența izolației	kv/mm	26~28	30~32
14	Temperatură	grad	2500	2500

controlul calitatii

Respectând strict sistemul de management al calității ISO 9001, implementăm controlul complet al-procesului de calitate pentru a asigura livrarea consecventă a produselor de-înaltă calitate:

• Inspecția 100% a materiilor prime, garantând calitatea de la sursă
• Utilizarea liniilor de producție avansate de-presare la cald pentru procese stabile și fiabile
• Un sistem cuprinzător de testare intern-care acoperă analiza densității, durității și microstructurii
• Disponibilitatea certificărilor de autoritate de la terți-(inclusiv SGS, CE, ROHS etc., furnizate la cerere)

Ne angajăm în continuare pentru îmbunătățirea continuă a sistemului nostru de management, oferind clienților o asigurare constantă și fiabilă a produselor.

certificate

de ce ne alegeți pe noi

Suntem un producător și furnizor profesionist de diferite inele ceramice semiconductoare. Avem o fabrică și o echipă profesională de producție de inele ceramice Semiconductor. În plus, suntem specializați în inel ceramic semiconductor și avem o companie în Statele Unite. Pentru a fi sincer, oferim servicii destul de profesioniste și sincere. Dacă aveți nevoie de vreun inel ceramic de-semiconductor de înaltă calitate sau de alți producători de ceramică și de parteneri pe termen lung-de peste mări, nu ezitați să ne contactați. Acceptăm orice-personalizare cu dificultate mare și vom face tot posibilul pentru a vă satisface nevoile.

Dacă aveți întrebări despre mandrina ceramică, puteți face clic pe nostruContactaţi-nebutonul imediat, va exista un serviciu profesional pentru clienți pentru a vă răspunde la întrebări.
Aștept cu nerăbdare vizita dumneavoastră!